贾东旭站在机械厂那略显陈旧的办公室里,窗外的阳光透过有些斑驳的玻璃洒在地上,形成一片片光影。此时的他,刚刚忙完组建光刻机研发团队的大事,可脸上却没有丝毫懈怠后的轻松,反而眉头紧锁,眼神中满是思索。他心里清楚,要想真正研发出中国自己的光刻机,光有团队还远远不够,还得进行全面的产业链布局,把每一个环节都牢牢抓在手里。
“这产业链布局,就像是一场没有硝烟的战争,每一步都得小心翼翼,走错一步,可能就满盘皆输。”贾东旭喃喃自语道。
一、光学组件的艰难突破
镜头,那可是光刻机的“眼睛”,至关重要。而要生产出高质量的镜头,高纯度光学玻璃是关键。贾东旭把目光投向了成都光明光电。他亲自跑到成都,和成都光明光电的领导谈合作。
“领导,咱们现在搞光刻机研发,这高纯度光学玻璃熔炼线可少不了。我知道你们厂在光学玻璃方面有基础,要是能合作建一条熔炼线,那对咱们国家的光刻机事业可是大好事啊!”贾东旭诚恳地说道。
成都光明光电的领导听了,有些犹豫:“这可不是个小工程,投资大,风险也不小,而且咱们也没做过这么高精度的光学玻璃。”
贾东旭一听,赶忙把系统提供的技术资料和未来光刻机市场的前景详细地介绍了一番。“您看,只要咱们把这熔炼线建起来,以后不仅能供应光刻机的需求,还能开拓其他高端光学产品市场,前景一片光明啊!”
经过多次沟通和协商,成都光明光电终于被贾东旭说服,决定合作建立高纯度光学玻璃熔炼线。从选址、设备采购到人员培训,贾东旭都全程参与,忙得脚不沾地。
1986年,这条凝聚着无数人心血的熔炼线终于建成并投产。当第一枚NA=0.35镜头被生产出来时,整个车间都沸腾了。虽然良品率只有60%,但这已经是一个了不起的开端。贾东旭看着那枚镜头,眼眶微微湿润:“这只是第一步,我们一定会越来越好的。”
在光源方面,汞灯g线光源是现阶段的主要选择。贾东旭找到了北京电光源研究所,希望能联合开发。
“所长,我们光刻机研发急需稳定高效的汞灯g线光源,你们所在这方面有研究基础,咱们一起合作,肯定能攻克这个难题!”贾东旭满怀期待地说。
北京电光源研究所的所长很感兴趣,但也提出了困难:“汞灯的寿命和稳定性一直是个问题,要达到光刻机的要求,可不是件容易的事。”
贾东旭点点头:“我知道难,但只要我们齐心协力,肯定能行。我们有一些技术资料可以共享,大家一起想办法。”
于是,双方组建了联合研发小组,日夜攻关。经过无数次的实验和失败,终于在1987年取得了突破,实现了汞灯2000小时的寿命。虽然和同期日本的3000小时还有差距,但已经能满足现阶段光刻机研发的基本需求。
二、精密机械的稳步推进
工作台和对准系统是精密机械部分的核心。上海机床厂在精密制造方面有深厚的底蕴,贾东旭再次来到上海,和上海机床厂商讨建立恒温车间生产气浮导轨的事宜。
“领导,这恒温车间对生产高精度气浮导轨至关重要,只有在稳定的温度环境下,才能保证导轨的精度。咱们一起干,肯定能为光刻机打造出最精准的‘脚’!”贾东旭充满激情地说道。
上海机床厂的领导被贾东旭的热情和诚意打动,决定全力支持。从车间的设计建设到设备的安装调试,每一个环节都严格把关。
1988年,恒温车间正式投入使用,生产出的气浮导轨定位精度达到了±0.02μm。虽然离最终目标还有一点距离,但这已经是国内精密机械制造领域的一次重大突破。
对准系统的关键在于CCD图像传感器。贾东旭来到西安光机所,寻求合作。“所长,这光刻机的对准系统就靠这CCD图像传感器了,你们所在光学成像方面技术领先,一定要帮我们这个忙!”贾东旭急切地说。
西安光机所的所长表示愿意合作,但也坦言:“这高精度的CCD图像传感器研发难度很大,我们需要时间和资源。”
贾东旭马上承诺:“资源方面我们全力支持,时间上我们也会合理安排,大家一起努力,攻克这个难关。”
经过几年的努力,1989年,西安光机所成功开发出满足要求的CCD图像传感器,实现了±0.15μm的对准精度,为光刻机的精密机械部分又添上了重要的一笔。
三、控制系统的创新发展
控制系统是光刻机的“大脑”,硬件和软件都至关重要。贾东旭把目光投向了刚刚兴起的深圳华强北。当时的华强北已经初现电子产业集聚的雏形,充满了活力和机遇。
贾东旭在华强北四处奔波,寻找合适的合作伙伴建立PCB生产线。“老板,咱们一起建PCB生产线,生产16位运动控制卡,这可是光刻机的核心硬件之一,市场前景不可限量!”贾东旭向一位电子厂老板推销着自己的想法。